美國SIMCO思美高工具內(nèi)離子發(fā)生器

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
美國SIMCO思美高工具內(nèi)離子發(fā)生器，潔凈室兼容高離子輸出以實(shí)現(xiàn)快速中性化
Simco-Ion, 技術(shù)集團(tuán)的 Model 5225數(shù)字氣動(dòng)棒，帶有軟件控制，旨在滿足工具內(nèi)離子化的苛刻要求。通過高離子輸出快速中和晶圓上的電荷，可在最-嚴(yán)格的水平上實(shí)現(xiàn)E78合規(guī)性。

產(chǎn)品型號(hào)：AeroBar® 5225

更新時(shí)間：2025-12-29

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

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美國SIMCO思美高工具內(nèi)離子發(fā)生器

Simco-Ion, 技術(shù)集團(tuán)的 Model 5225數(shù)字氣動(dòng)棒，帶有軟件控制，旨在滿足工具內(nèi)離子化的苛刻要求。通過高離子輸出快速中和晶圓上的電荷，可在最-嚴(yán)格的水平上實(shí)現(xiàn)E78合規(guī)性。

接口模塊型號(hào) 5200-IM6T

支持并供電至6個(gè)AeroBar Model 5225離子發(fā)生器，F(xiàn)MS輸出。

美國SIMCO思美高工具內(nèi)離子發(fā)生器

AeroBar 5225
電壓	輸入：24伏交流電，50/60赫茲，1瓦（典型）；由接口模塊型號(hào)5200-IM6T供電輸出：0-20千伏直流電，每個(gè)極性在單獨(dú)的AeroBar上可±10%；正或負(fù)輸出電平可以通過GUI分別調(diào)整
離子發(fā)射	脈沖直流電、穩(wěn)態(tài)直流電或備用
發(fā)射器	單晶硅，可更換
潔凈室等級(jí)	ISO 14644-1 Class 1（單晶硅發(fā)射極） ISO 14644-1 Class 3（鈦發(fā)射極）
維度	2.1英寸高 x 1.2英寸寬 x 22.4 / 28.4 / 35.7 / 44.4 / 55.6 / 64.4 / 75.5 / 84.4英寸長 (5.3 x 3.1 x 56.9 / 72.1 / 90.7 / 112.8 / 141.2, 163.6 / 191.8 / 214.4 厘米)
重量	1.13 磅（0.51 公斤）用于 22 英寸（55.9 厘米）的桿（每增加 1 英尺/0.17 公斤每增加 30.5 厘米）
接口模塊型號(hào) 5200-IM6T
輸入電壓	24 伏直流電，1.0安，±5%
容量	連接最多六個(gè)Model 5225航空酒吧
LED 指示燈	綠色電源開啟，黃色通信，紅色報(bào)警
維度	2.76英寸高 x 2.88英寸寬 x 12.4英寸長（7.01 x 7.32 x 31.5厘米）帶法蘭
重量	2.6 磅（1.18 公斤）